ระบบการเคลือบฟิล์มป้องกันอัลตราโซนิกสเปรย์ก่อนการตัดซิลิคอนเวเฟอร์ได้รับการพิสูจน์แล้วว่าเป็นวิธีที่เชื่อถือได้ทำซ้ำและมีประสิทธิภาพสำหรับการใช้สารเคมีต่าง ๆ กับซิลิคอนก่อนที่จะตัดการบดและการขัดเพื่อปกป้องเวเฟอร์และกระแทก สารเคมีทั่วไป ได้แก่ Z-coat, PMMA และสารเคมีที่ถอดออกได้ง่ายอื่น ๆ ระบบหัวฉีดของ Funsonic สามารถปรับแต่งเพื่อตอบสนองความต้องการการเคลือบและความท้าทายเฉพาะของลูกค้าสำหรับการตัดฟิล์มป้องกัน
ระบบสเปรย์อัลตราโซนิกได้รับการพิสูจน์แล้วว่าเหมาะสำหรับการใช้งานต่าง ๆ ที่ต้องการการเคลือบวัสดุที่สม่ำเสมอและทำซ้ำได้ โดยการควบคุมความหนาจาก submicron ถึงมากกว่า 100 ไมครอนและสามารถเคลือบรูปร่างหรือขนาดใด ๆ ระบบการเคลือบเป็นทางเลือกที่ทำงานได้สำหรับเทคนิคการเคลือบอื่น ๆ เช่นการพ่นแบบโรตารี่และแบบดั้งเดิม
ระบบการเคลือบของ Funsonic สามารถควบคุมอัตราการไหลความเร็วการเคลือบและจำนวนการสะสมโดยใช้เทคนิคการฝังชั้นอย่างง่าย การปั้นสเปรย์ความเร็วต่ำกำหนดสเปรย์อะตอมเป็นรูปแบบที่แม่นยำและควบคุมได้เพื่อหลีกเลี่ยงการเกินพิกัดและผลิตชั้นบางและสม่ำเสมอ
ข้อดีของการใช้เทคโนโลยีการเคลือบอัลตราโซนิกสำหรับกระบวนการเคลือบเวเฟอร์ป้องกัน ได้แก่ :
1. การครอบคลุมฟิล์มที่รวดเร็วและสม่ำเสมอของรูปทรงพื้นผิวต่างๆ
2. ความยืดหยุ่นสูงในคุณสมบัติทางเคมีและการเคลือบ
3. สเปรย์อะตอมไม่อุดตัน
4. ประสิทธิภาพการส่งผ่านสูงพร้อมของเสียน้อยที่สุด
5. กระบวนการฉีดพ่นแบบผู้ใหญ่ที่ทำซ้ำได้สูง