ระบบการเคลือบด้วยแสงสำหรับการพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์

เมื่อเทียบกับการเคลือบแบบสปินแบบดั้งเดิมการเคลือบด้วยแสงโดยใช้การฉีดพ่นอัลตราโซนิกมีข้อดีในการสะสมการเคลือบที่สม่ำเสมอมากขึ้นโดยเฉพาะอย่างยิ่งตามด้านบนของแก้มของร่องอัตราส่วนสูงและโครงสร้างร่องรูปตัววี การหมุนแบบแรงเหวี่ยงไม่สามารถเก็บสารเคลือบเครื่องแบบได้ตามทางด้านข้างและจะไม่ฝาก photoresist มากเกินไปที่ด้านล่างของโพรง

การพ่นแบบอัลตราโซนิกเป็นกระบวนการที่เรียบง่ายประหยัดและทำซ้ำได้สำหรับการเคลือบด้วยแสงในการประมวลผลเวเฟอร์โฟโตโธภาพ ระบบการเคลือบผิวด้วยอัลตราโซนิกของ Funsonic ใช้เทคโนโลยีการฝังชั้นขั้นสูงเพื่อควบคุมอัตราการไหลอย่างประณีตความเร็วการเคลือบและปริมาณการสะสม การปั้นสเปรย์ความเร็วต่ำกำหนดสเปรย์อะตอมเป็นรูปแบบที่แม่นยำและควบคุมได้เพื่อหลีกเลี่ยงการเกินพิกัดและผลิตชั้นบางและสม่ำเสมอ การฉีดพ่นโดยตรงโดยใช้เทคโนโลยีอัลตราโซนิกได้รับการพิสูจน์แล้วว่าเป็นวิธีที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพสำหรับการสะสม Photoresist ลงในโครงสร้างจุลภาค 3 มิติซึ่งจะช่วยลดความล้มเหลวของอุปกรณ์ที่เกิดจากการสัมผัสกับโลหะมากเกินไป

ข้อดีของหัวฉีดอัลตราโซนิกในกระบวนการเคลือบด้วยแสง:

1. การครอบคลุมฟิล์มแบบสม่ำเสมอของรูปทรงพื้นผิวต่างๆ
2. สามารถเคลือบร่องอัตราส่วนสูงได้ด้วยความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม
3. สเปรย์อะตอมไม่อุดตัน
4. ความสามารถในการสะสมชั้นบาง ๆ ของไมครอนบาง ๆ
5. กระบวนการฉีดพ่นที่เป็นผู้ใหญ่ที่ทำซ้ำได้